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イットリア(酸化イットリウム)の特性と、素材販売・加工に対応するメーカー一覧
イットリアは、化学反応しにくい耐食性・耐薬品性に優れた素材で、サファイア並みの硬度を持つプラズマでも削れにくい材料です。
パーティクルや不純物汚染の低減に効果があるため、半導体製造装置用の部品に用いられ、化学的に安定しているため、チャンバー部品やセッター等に利用されています。
また、赤外領域での光透過性に優れていますが、 近年では可視域でも良好な光透過特性を有する透明なイットリアも開発され、ガラスや樹脂の代替として、レンズ材、窓材、レーザー材、蛍光体、シンチレーターなどに用いられることもあります。
イットリアの販売・加工に対応できるメーカー様を募集しております。