蒸着（CVD）

CVDとは

CVDとは、化学蒸着とも呼ばれ、素材となる反応物質を気化し、反応ガスと混合させて反応室内に充填し、反応室内において加熱し熱平衡反応を起こすことで被加工物の表面に被膜を作る加工法。半導体の製造には不可欠な加工法でもある。