イットリア(酸化イットリウム)の基礎と材料及び加工メーカー情報
イットリア(酸化イットリウム)(Y2O3)
イットリア(酸化イットリウム)とは
イットリア(酸化イットリウム、Y2O3)は、優れた耐食性と耐薬品性を持つセラミック素材です。その化学的安定性により、腐食性のあるガスやプラズマに対しても非常に高い耐性を示します。さらに、サファイアに匹敵する硬度を持ち、プラズマ環境でも容易に削れないため、半導体製造装置の部品として広く利用されています。
この素材はパーティクルや不純物汚染の低減に効果的で、製造プロセスにおける製品の不良率を低減するのに寄与します。そのため、化学的に安定したチャンバー部品やセッターなどにも使用されます。また、イットリアは高温下で優れたクリープ特性を発揮し、反りや曲がりが曲がりが発生しにくい特性もあります。
赤外領域での光透過性に優れているだけでなく、近年では可視光領域でも良好な光透過特性を持つ透明なイットリアが開発されており、ガラスや樹脂の代替としても利用されています。これにより、レンズ材、窓材、レーザー材、蛍光体、シンチレーターなど、多岐にわたる用途に対応しています。
イットリア(酸化イットリウム)の機能特性
- 耐プラズマ性
- プラズマによる侵食に強く、プラズマ処理装置の部品などに使用されます。
- 耐腐食性
- 酸やアルカリに対する耐性が高く、化学的に安定しているため、腐食環境でも使用可能です。
イットリア(酸化イットリウム)の使用用途
- 電子部品半導体製造装置の部品、セラミックコンデンサー、高周波デバイス
- 光学材料レーザー、光ファイバー、レンズ
イットリア(酸化イットリウム)の販売・加工に対応できるメーカー
- 株式会社トリオセラミックス【愛知県瀬戸市】
- アルミナ、ジルコニアなど各種ファインセラミックスの一貫製造を行います。メーカーとしての 豊富な在庫を活かした短納期対応と、商社の顔を活かしての幅広い対応力が可能です。
- 合資会社マルワイ矢野製陶所【愛知県瀬戸市】
- 創業120年。信頼と実績のセラミックスメーカー。CIP成型、押出し成型、プレス成型、圧力鋳込み成型など、ニーズに合わせて加工。少量多品種に対応可能です。複雑な不定形製品もご相談ください。
イットリアの販売・加工に対応できるメーカー様を募集しております。